Cụ thể, Tổng Thanh tra Chính phủ, Phó Tổng thanh tra Chính phủ, Thanh tra viên cao cấp được hưởng phụ cấp trách nhiệm theo nghề Thanh tra bằng 15% mức lương cơ bản hiện hưởng cộng với phụ cấp chức vụ lãnh đạo và phụ cấp thâm niên vượt khung (nếu có).
Thanh tra viên chính được hưởng phụ cấp trách nhiệm theo nghề Thanh tra bằng 20% mức lương cơ bản hiện hưởng cộng với phụ cấp chức vụ lãnh đạo và phụ cấp thâm niên vượt khung (nếu có).
Ngoài quy định nêu trên, Thanh tra viên là công chức được hưởng các quyền lợi như cán bộ, công chức khác theo quy định của Luật Cán bộ, công chức; được hưởng lương, phụ cấp thâm niên nghề và các chế độ, chính sách đặc thù khác theo quy định của pháp luật.
Thanh tra viên là sĩ quan trong Quân đội nhân dân, Công an nhân dân, người làm công tác cơ yếu được hưởng chế độ theo quy định đối với lực lượng vũ trang và chế độ phụ cấp trách nhiệm theo nghề thanh tra theo quy định nêu trên.